ELEKTRON MİKROSKOPİYASI – elektron mikroskoplarının (EM) kömәyi ilә cisim mikrostrukturlarının (atom–molekulyar sәviyyәyә qәdәr) lokal tәrkibinin vә sәthlәrdә, yaxud da mikrohәcmlәrdә lokallaşmış cisimlәrin elektrik vә maqnit sahәlәrinin (“mikrosahәlәrin”) tәdqiq metodlarının toplusu. Yeni EM vә digәr korpuskulyar mikroskopların (mәs., proton mikroskopların) vә onlara әlavәlәrin tәkmillәşdirilmәsi, işlәnmәsi, EM-nda tәdqiq edilәnlәrin hazırlanma metodlarının tәkmillәşdirilmәsi, elektron-optik әksetmәlәrin yaranma mexanizmlәrinin öyrәnilmәsi, alınan informasiyanın tәdqiqat üsullarının mükәmmәllәşdirilmәsi dә E.m.-na daxildir.
E.m.-nın tәdqiqat obyekti әsasәn bәrk cisimdir. İşıqlanan EM-nda (İEM) obyekt- dәn 1 keV-dan 5 MeV-a qәdәr enerjiyә malik elektronlar keçdiyinә görә bu cihazda qalınlığı 1 nm-dәn 10 mkm-ә qәdәr (10 Å-dәn 105 Å-ә qәdәr) olan nazik plyonkalar, folqalar (şәkil 1), kәsiklәr vә s. nümunәlәr öyrәnilir.
Statik (zamana görә dәyişmәyәn) obyektlәri tәdqiq etmәklә yanaşı, E.m. onların inkişaf dinamikasında da müxtәlif proseslәri, mәs., plyonkaların böyümәsini, dәyişәn qüvvәnin tәsiri altında olan kristalların deformasiyasını, elektron vә ya ion şüasının tәsiri ilә strukturun dәyişmәsini vә s. öyrәnmәyә imkan verir. Bu tәdqiqatlar E.m.-nın s t r o s k o p i k metodları ilә aparılır (şәkil 2.): nümunә elektron dәstәsi ilә fasilәsiz deyil, impulsiv “işıqlandırılır”. Bu, cihazın ekranında (eynilә stroskopik cihazlardakı kimi) prosesin müәyyәn fazasının qeydә alınmasını tәmin edir. Göstәrilәn halda yolverilәn zaman hәddi İEM üçün әsasәn tәqr. 10–15 san ola bilәr (hәlәlik bu hәdd praktik olaraq ~ 10–12 san civarında reallaşıb).
Lorens E.m.-nın kömәyilә Lorens qüvvәsinin şәrtlәndirdiyi hadisәlәri öyrәnir, sәpilmәnin daxili maqnit vә elektrik sahәsini, yaxud da xarici sahәsini, mәs., nazik plyonkalarda maqnit domenlәrinin, seqnetoelektrik domenlәrin vә s. sahәsini tәdqiq edirlәr.
Obyektlәrin tәrkibi mikrodifraksiyanın, yәni obyektin lokal hissәlәrinin elektronoqrafiyasının, rentgen vә katod lüminessensiyasının lokal spektral mikroanalizinin (bax Katod lüminessensiyası, Rentgen spektral analizi) metodları ilә araşdırılır. Bundan başqa, ilkin elektronların nümu- nәnin sәthindәn vә ya hәcmindәn vurub çıxardığı növbәti elektronların enerji spektrlәri öyrәnilir (mәs., bax Oje spektroskopiyası).
E.m.-nın kәmiyyәt metodları – nümunәnin vә ya tәdqiq edilәn prosesin müxtәlif parametrlәrinin (mәs., lokal elektrik potensiallarının, maqnit sahәlәrinin vә s.) dәqiq ölçülmәsi metodları intensiv olaraq işlәnib tәkmillәşdirilir. EM texnoloji mәqsәdlәrә (mәs., elektrolitoqrafiya metodu ilә mikrosxemlәrin hazırlanması) görә dә istifadә edilir.
